მიკროელექტრონული სახელოსნო შედარებით მცირე სუფთა ოთახის ფართობით და დაბრუნების საჰაერო სადინრის შეზღუდული რადიუსით გამოიყენება კონდიცირების სისტემის მეორადი დაბრუნების ჰაერის სქემის მისაღებად. ეს სქემა ასევე ხშირად გამოიყენებასუფთა ოთახებისხვა ინდუსტრიებში, როგორიცაა ფარმაცევტული და სამედიცინო მომსახურება. იმის გამო, რომ ვენტილაციის მოცულობა სუფთა ოთახის ტემპერატურის ტენიანობის მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად, ზოგადად, გაცილებით ნაკლებია, ვიდრე სავენტილაციო მოცულობა, რომელიც საჭიროა სისუფთავის დონის მისაღწევად, შესაბამისად, ტემპერატურული სხვაობა მიწოდებულ და დაბრუნებულ ჰაერს შორის მცირეა. თუ პირველადი დაბრუნების ჰაერის სქემა გამოიყენება, ტემპერატურული სხვაობა ჰაერის მიწოდების მდგომარეობასა და კონდიცირების განყოფილების ნამის წერტილს შორის დიდია, საჭიროა მეორადი გათბობა, რაც იწვევს ჰაერის დამუშავების პროცესში ცივი სითბოს კომპენსირებას და მეტი ენერგიის მოხმარებას. . თუ მეორადი დაბრუნების ჰაერის სქემა გამოიყენება, მეორადი დაბრუნების ჰაერი შეიძლება გამოყენებულ იქნას პირველადი დაბრუნების ჰაერის სქემის მეორადი გათბობის ჩასანაცვლებლად. მიუხედავად იმისა, რომ პირველადი და მეორადი დაბრუნების ჰაერის თანაფარდობის რეგულირება ოდნავ ნაკლებად მგრძნობიარეა, ვიდრე მეორადი სითბოს რეგულირება, მეორადი დაბრუნების ჰაერის სქემა ფართოდ არის აღიარებული, როგორც კონდიცირების ენერგიის დაზოგვის ღონისძიება მცირე და საშუალო ზომის მიკროელექტრონულ სუფთა საამქროებში. .
მაგალითად, აიღეთ ISO კლასის 6 მიკროელექტრონიკის სუფთა სახელოსნო, სუფთა სახელოსნოს ფართობი 1000 მ2, ჭერის სიმაღლე 3 მ. ინტერიერის დიზაინის პარამეტრებია ტემპერატურა tn= (23±1) ℃, ფარდობითი ტენიანობა φn=50%±5%; საპროექტო ჰაერის მიწოდების მოცულობა არის 171,000 მ3/სთ, დაახლოებით 57 სთ-1 ჰაერის გაცვლის დრო, ხოლო სუფთა ჰაერის მოცულობა არის 25 500 მ3/სთ (აქედან გამონაბოლქვი ჰაერის მოცულობა არის 21 000 მ3/სთ, ხოლო დანარჩენი არის დადებითი წნევის გაჟონვის ჰაერის მოცულობა). სუფთა საამქროში მგრძნობიარე სითბოს დატვირთვა არის 258 კვტ (258 ვტ/მ2), კონდიციონერის სითბო/ტენიანობა არის ε=35 000 კჯ/კგ, ხოლო ოთახის დაბრუნების ჰაერის ტემპერატურული სხვაობა 4,5 ℃. ამ დროს, პირველადი დაბრუნების ჰაერის მოცულობა
ეს არის ამჟამად ყველაზე ხშირად გამოყენებული ფორმა გამწმენდი კონდიცირების სისტემის მიკროელექტრონული ინდუსტრიის სუფთა ოთახში, ამ ტიპის სისტემა ძირითადად შეიძლება დაიყოს სამ ტიპად: AHU+FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (მშრალი კოჭა) +FFU. თითოეულს აქვს თავისი დადებითი და უარყოფითი მხარეები და შესაფერისი ადგილები, ენერგიის დაზოგვის ეფექტი ძირითადად დამოკიდებულია ფილტრის და ვენტილატორის და სხვა აღჭურვილობის მუშაობაზე.
1) AHU+FFU სისტემა.
ამ ტიპის სისტემის რეჟიმი გამოიყენება მიკროელექტრონული ინდუსტრიაში, როგორც "კონდიცირებისა და გაწმენდის ფაზის გამიჯვნის გზა". შეიძლება არსებობდეს ორი სიტუაცია: ერთი ის არის, რომ კონდიცირების სისტემა ეხება მხოლოდ სუფთა ჰაერს, ხოლო დამუშავებული სუფთა ჰაერი იტანს სუფთა ოთახის მთელ სითბოს და ტენიანობის დატვირთვას და მოქმედებს როგორც დამატებითი ჰაერი, რათა დააბალანსოს გამონაბოლქვი ჰაერი და დადებითი წნევის გაჟონვა. სუფთა ოთახის ამ სისტემას ასევე უწოდებენ MAU+FFU სისტემას; მეორე ის არის, რომ მხოლოდ სუფთა ჰაერის მოცულობა არ არის საკმარისი სუფთა ოთახის ცივი და სითბოს დატვირთვის საჭიროებების დასაკმაყოფილებლად, ან იმის გამო, რომ სუფთა ჰაერი მუშავდება გარე მდგომარეობიდან ნამის წერტილამდე, საჭირო აპარატის სპეციფიკური ენთალპიის განსხვავება ძალიან დიდია. და შიდა ჰაერის ნაწილი (დაბრუნების ჰაერის ექვივალენტი) ბრუნდება კონდიცირების გამწმენდ განყოფილებაში, შერეულია სუფთა ჰაერთან სითბოს და ტენიანობის სამკურნალოდ და შემდეგ იგზავნება ჰაერის მიწოდების პლენუმში. შერეული დარჩენილ სუფთა ოთახში დაბრუნებულ ჰაერთან (ექვივალენტური მეორადი დაბრუნების ჰაერთან), ის შედის FFU განყოფილებაში და შემდეგ აგზავნის მას სუფთა ოთახში. 1992 წლიდან 1994 წლამდე, ამ ნაშრომის მეორე ავტორი თანამშრომლობდა სინგაპურულ კომპანიასთან და ხელმძღვანელობდა 10-ზე მეტ კურსდამთავრებულ სტუდენტს მონაწილეობა მიეღო აშშ-ჰონკონგის ერთობლივი საწარმოს SAE Electronics Factory-ის დიზაინში, რომელმაც მიიღო ეს უკანასკნელი სახის გამწმენდი კონდიციონერი და ვენტილაციის სისტემა. პროექტს აქვს ISO კლასის 5 სუფთა ოთახი დაახლოებით 6000 მ2 (აქედან 1500 მ2 კონტრაქტი იაპონიის ატმოსფერული სააგენტოს მიერ). კონდიცირების ოთახი მოწყობილია სუფთა ოთახის მხარის პარალელურად გარე კედლის გასწვრივ და მხოლოდ დერეფნის მიმდებარედ. სუფთა ჰაერის, გამონაბოლქვი ჰაერისა და დაბრუნების საჰაერო მილები მოკლეა და შეუფერხებლად არის მოწყობილი.
2) MAU+AHU+FFU სქემა.
ეს გამოსავალი ჩვეულებრივ გვხვდება მიკროელექტრონულ ქარხნებში, რომლებსაც აქვთ ტემპერატურისა და ტენიანობის მრავალი მოთხოვნა და დიდი განსხვავებები სითბოსა და ტენიანობის დატვირთვაში, ასევე მაღალია სისუფთავის დონე. ზაფხულში სუფთა ჰაერი გაგრილდება და ატენიანებს ფიქსირებულ პარამეტრამდე. ჩვეულებრივ მიზანშეწონილია სუფთა ჰაერის დამუშავება იზომეტრიული ენთალპიის ხაზისა და სუფთა ოთახის 95% ფარდობითი ტენიანობის ხაზის გადაკვეთის წერტილამდე, წარმომადგენლობითი ტემპერატურით და ტენიანობით ან სუფთა ოთახის ყველაზე დიდი სუფთა ჰაერის მოცულობით. MAU-ის ჰაერის მოცულობა განისაზღვრება თითოეული სუფთა ოთახის საჭიროებიდან გამომდინარე ჰაერის შესავსებად და ნაწილდება თითოეული სუფთა ოთახის AHU-ში მილებით საჭირო სუფთა ჰაერის მოცულობის მიხედვით და შერეულია შიდა დაბრუნების ჰაერთან სითბოსთვის. და ტენიანობის მკურნალობა. ეს დანადგარი იტანს მთელ სითბოს და ტენიანობის დატვირთვას და სუფთა ოთახის ახალი რევმატიზმის ნაწილს, რომელსაც ემსახურება. თითოეული AHU-ს მიერ დამუშავებული ჰაერი იგზავნება მიწოდების ჰაერის პლენუმში თითოეულ სუფთა ოთახში, ხოლო შიდა დაბრუნების ჰაერთან მეორადი შერევის შემდეგ, იგი იგზავნება ოთახში FFU განყოფილებით.
MAU+AHU+FFU ხსნარის მთავარი უპირატესობა ის არის, რომ სისუფთავისა და დადებითი წნევის უზრუნველყოფის გარდა, ის ასევე უზრუნველყოფს სხვადასხვა ტემპერატურასა და ფარდობით ტენიანობას, რომელიც საჭიროა თითოეული სუფთა ოთახის პროცესის წარმოებისთვის. თუმცა, ხშირად დაყენებული AHU-ების რაოდენობის გამო, ოთახის ფართობი დიდია, სუფთა ოთახი სუფთა ჰაერი, ჰაერის დაბრუნება, ჰაერის მიწოდების მილსადენები გადაკვეთილია, დიდ ადგილს იკავებს, განლაგება უფრო პრობლემურია, მოვლა და მართვა უფრო რთულია. და რთული, შესაბამისად, არ არსებობს სპეციალური მოთხოვნები შეძლებისდაგვარად გამოყენების თავიდან ასაცილებლად.
გამოქვეყნების დრო: მარ-26-2024