ფარდობითი ტენიანობის სამიზნე მნიშვნელობა ნახევარგამტარული (FAB) სუფთა ოთახში

ფარდობითი ტენიანობის სამიზნე მნიშვნელობა ნახევარგამტარულ (FAB) სუფთა ოთახში არის დაახლოებით 30-დან 50%-მდე, რაც იძლევა ცდომილების ვიწრო ზღვარს ±1%, როგორიცაა ლითოგრაფიის ზონაში - ან კიდევ უფრო ნაკლები შორეულ ულტრაიისფერ დამუშავებაში (DUV). ზონა – ხოლო სხვაგან შეიძლება მოდუნდეს ±5%-მდე.
იმის გამო, რომ ფარდობით ტენიანობას აქვს მთელი რიგი ფაქტორები, რომლებიც ამცირებს სუფთა ოთახების საერთო ეფექტურობას, მათ შორის:
1. ბაქტერიების ზრდა;
2. ოთახის ტემპერატურის კომფორტის დიაპაზონი პერსონალისთვის;
3. ჩნდება ელექტროსტატიკური მუხტი;
4. ლითონის კოროზია;
5. წყლის ორთქლის კონდენსაცია;
6. ლითოგრაფიის დეგრადაცია;
7. წყლის შთანთქმა.

ბაქტერიები და სხვა ბიოლოგიური დამაბინძურებლები (ყალიბები, ვირუსები, სოკოები, ტკიპები) შეიძლება განვითარდეს 60%-ზე მეტი ფარდობითი ტენიანობის პირობებში. ზოგიერთი ბაქტერიული საზოგადოება შეიძლება გაიზარდოს 30%-ზე მეტი ფარდობითი ტენიანობის პირობებში. კომპანია თვლის, რომ ტენიანობა უნდა იყოს კონტროლირებადი 40%-დან 60%-მდე დიაპაზონში, რამაც შეიძლება მინიმუმამდე დაიყვანოს ბაქტერიების და რესპირატორული ინფექციების გავლენა.

40%-დან 60%-მდე ფარდობითი ტენიანობა ასევე ზომიერი დიაპაზონია ადამიანის კომფორტისთვის. ზედმეტმა ტენიანობამ შეიძლება გამოიწვიოს ადამიანების დაღლილობის შეგრძნება, ხოლო 30%-ზე დაბალმა ტენიანობამ შეიძლება გამოიწვიოს მშრალი, დახეთქილი კანი, სუნთქვის დისკომფორტი და ემოციური უბედურება.

მაღალი ტენიანობა რეალურად ამცირებს ელექტროსტატიკური მუხტების დაგროვებას სუფთა ოთახის ზედაპირზე - სასურველი შედეგი. დაბალი ტენიანობა იდეალურია მუხტის დაგროვებისთვის და ელექტროსტატიკური გამონადენის პოტენციურად დამაზიანებელი წყაროსთვის. როდესაც ფარდობითი ტენიანობა 50%-ს აღემატება, ელექტროსტატიკური მუხტები სწრაფად იფანტება, მაგრამ როდესაც ფარდობითი ტენიანობა 30%-ზე ნაკლებია, ისინი შეიძლება დიდხანს გაგრძელდეს იზოლატორზე ან დაუსაბუთებელ ზედაპირზე.

ფარდობითი ტენიანობა 35%-დან 40%-მდე შეიძლება გამოყენებულ იქნას როგორც დამაკმაყოფილებელი კომპრომისი, ხოლო ნახევარგამტარული სუფთა ოთახები ძირითადად იყენებენ დამატებით კონტროლს ელექტროსტატიკური მუხტების დაგროვების შესაზღუდად.

მრავალი ქიმიური რეაქციის სიჩქარე, მათ შორის კოროზიული პროცესები, გაიზრდება ფარდობითი ტენიანობის მატებასთან ერთად. სუფთა ოთახის გარშემო ჰაერის ზემოქმედების ყველა ზედაპირი სწრაფია.